圆弧误差过大,太阳弧误差

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本文目录一览:

1、太阳弧 误差

2、格林威治天文台是如何得出每天的太阳水平和垂直直径数据的?

3、数控等离子切割机有斜口是怎么回事?

太阳弧 误差

超精密金刚石车削是制造自由曲面光学元件的一种主要方法。这项工艺需要有相应的表面误差分析对其加工质量进行评估。对于传统光学元件来说,不同空间频率范围中表面误差的分析主要通过一维功lǜ谱密度函数(1D-PSD)进行。

然而,由于参数的复杂性,自由曲面光学元件的面型通常会体现出高度的各向异性,而在表面的不同方向上,车削形成的波纹又体现出一定的规则性。为了在频率范围内正确分析整个表面,有学者提出了一种表示二维功率谱密度(2D-PSD)的新方法。

圆弧误差过大,太阳弧误差

德伽智能光电(镇江)的超精密单点金刚石车床

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为什么用PSDfēn析误差?

如果将光学元件波面高度函数展开成傅里叶级数,可对光学元件波面质量分为三个频段来评价:(1)周期<0.12 mm的高频段,即表面粗糙度或光洁度;(2)周期在0.12~33 mm之间的中频段,即表面波纹度;(3)周期>33 mm的低频段,即空间yù表面面形。

金刚石车削生产自由曲面镜时,由于切割过程中的振动和温度变化,镜面上会出现周期从几十微米到几毫米的规则表面误差。经典的旋转对称方法加工镜面会导致同心结构的波纹。而离轴非球面的制造往往涉及切割的中断、工件边缘处的振荡或者运动和姿态都更加复杂的快速刀具伺服(FTS)和慢速刀具伺服(STS)等情况,这些通常会形成更复杂的不规则形状,由此而导致光散射效应。

在散射效应中,光的方向和散射角分别由表面误差的方向和周期决定。中频波段的波面误差使光在较小的角度内散射,降低系统的分辨率;高频波段的波面误差使光在较大的角度散射,降低像的对比。故可以用于PSD描述中高空间频率(HSF)误差。

总的来说,PSD从频率分析的角度描述了光学元件透射(反射)波面,提供了丰富的波面信息,可以定量地给出光学元件波前误差的空间频率分布,确dìng了各个频率分量的影响,对光学元件分析及指导光学元件加工均具有十分重要的意义。

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直角坐标1D-PSD、2D-PSD和极坐标PSD的比较

一维表示的一个优点是可以从不同的扫描区域拼接PSD,形成在频率空间中覆盖几个数量级的主PSD(Master PSD),根据主PSD曲线能分析该方向下的主要面形误差。然而,1D-PSD并不能完全表示出表面误差的方向分布。

对于直角坐标系下的2D-PSD而言,表面周期性误差的频率和方向都可以从中直接体现,但问题是属于不同空间频率范围的2D-PSD无法被拼接,因为zhí角坐标2D-PSD包含负频率,其中负号表示方向,因此不能按照对数标度把所有PSD表示在同一张图上。角分辨的PSD是一种在极坐标下表示的PSD。直角坐标系中的2D-PSD是各频率分量傅里叶pín谱振幅的平方,如果将直角坐标系转换成极坐标系,则可以绘制出以方位角j为横轴、以空间频率f为纵轴的极坐标系功率谱密度。

而极坐标下的PSD同时有以上两种优点:一方面,它保留了角度信息(类似yú2D-PSD);另一方面,因为它本身是一种一维形式的表述,所以能将不同空间频率范围的PSD拼接在单个图中(类似于1D-PSD) 。

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子孔径测量的位置和尺寸对PSD的影响

光学表面的面形误差检测通常用全孔径干涉测量法进行,但是要测量更高频率的误差,还必须对子孔径的功率谱密度进行测量,例如使用白光干涉仪(WLI)。通常在表面上选取一系列能够表示完整表面的代表性位置来测量。

两个自由曲面元件被放置在同一模块上轴向旋转,旋转中心位于两个表面之间。由于振动和热波动,表面上会有规则的同心弧形成,且越靠近旋转中心,弧的曲率越大,用不同幅度和频率的正弦函数的叠加形成直径D = 48 mm的合成表面来表征这些同心弧。这个过程模拟了金刚石车削制造自由曲面镜时产生的中空间频率(Mid Spatial Frequency,MSF)振荡。

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图1 全孔径范围内的离轴合成镜

该轮廓如图1(a)所示。图1(b)中的2D-PSD描绘了表面边缘处的PSD。每对频率坐标(fx,fy)为PSD中的弧提供贡献。图1(c)是图1(b)的极坐标表示,其中连续线段所表示的角度范围等于2D-PSD中的频率位置的弧的圆心角。

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图2 子孔径的分析

图2(a)是边长为3.75 mm的方xíng子孔径的轮廓图。曲率值与子孔径到旋转中心的距离相关。图2(b)表示属于十个不同位置的子孔径在直角坐标系下的平均2D-PSD。不同长度的弧互补地描shù了功率谱。图2(c)是这十个位置在极坐标系下的平均PSD。可以想象,如果子孔径数量足够多,并且在整个表面上合理分布,则子孔径PSD的角度与全孔径PSD中有相同的水平宽度。

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用PSD分析实际曲面的误差

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图3

一个二cì曲面的自由曲面镜的全孔径干涉图像如图3(a)所示。图3(b)为实际加工时旋转中心和工作坐标系的布局图。元件表面所存在的周期性误差基本可以分为两类:沿刀具运动方向的误差,在图中体现为以旋转轴为圆心的同心圆(Concentric Errors),以及垂直于刀具运动方向的误差,在途中呈垂直于前述同心圆的放射状排布(Radial Errors)。

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图4

图4(a)示出了在金刚石车削(Diamond Turning, DT)zhī后一个子孔径的干涉测量图。旋转中心位于右上角。在这个子孔径上存在周期分别为190μm和750μm的两个振荡的叠加。这两个振荡的方向垂直于车削工具的运动方向,这意味着它们属于径向表面误差。对相同位置进行计算机控制抛光(Computer Controlled Polishing, CCP)后,图(a)中的两个震荡得到了抑制,此时的干涉图体现为沿车刀的方向上有显著的波纹,周期约为2800 μm,这表明这个振荡是同心误差,如图4(b)所示。

从图3中可以看出,围绕旋转zhōng心的同心圆弧在表面上相对于工作坐标系(WCS)具有28°至152°的最大范围,这个范围关于90°对称。zhè意味着同心振荡在极坐标PSD中仅存在于该角度区域中。xiāng应的,径向结构在118°至242°的角度区域中呈现最大值,以180°为中心,因为它们与同心振荡正交。

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图5

图5表示用4种不同的白光干涉仪对25个车削和抛光后的测量点的组合极坐标PSD图。如图5(a),在空间频率约为1.5×10-2/μm处,存在以90°(bìng且也以270°)为中心的主峰(参见标记1a)。因此,它们一定来自同心振荡并且存在于整个表面中。此外,高频误差在相同的角度区域产生了额外的峰值。其峰值在较低空间频率区域内集中于90°(2a)处,这表明在图3(b)所示元件表面的中间区域(Y轴处)存在许多不同的振荡。以180°为中心(并且也以360°为中心),在5×10-3/μm处,存在另一些峰,这表明它们属于径向表面误差(3a)。在200°处,这些峰值特别大,这意味着那些径向结构在元件表面的底部区域更明显。在该位置处,存在另一个径向波纹,空间频率为1.3×10-3/μm。

从抛光前后的PSD图对比可以看出,所有的峰值都被抑制在1×10-2/μm以下,因为抛光可以很好地校正这些高空间频率(High Spatial Frequency, HSF)误差。在较低的空间频率区域中,位于90°处的一些峰表示剩余的同心表面误差部分恶化(2b),以180°为中心的径向表面误差的峰值减小(3b),但是在1.3×10-3/μm处的单峰仍然清晰可见(4b)。

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图6 超精密单点金刚石车床

耐德佳的超精密金刚石车削工艺便利用PSD工jù对自由曲面进行公chà分析,提高了其车床的精度,从而显著地提高了切削精度。耐德佳的超精密加工服务,不仅kě以对镍、铜、铝、金、树脂等材料进行超精密加工,加工面型的精度可以达到0.3 μm,表面粗糙度可以达到3 nm Ra,也可用于制造光学透镜、反射镜、棱镜、光学模具,还可对平面、球面、非球面等旋转回转曲面及自由曲面、柱面等三维复杂曲面进行超精密加工,加工面型精度可以达到0.1 μm,表面粗糙度可以达到1 nm Ra。

资料参考

1. 高志山,“光学表明轮廓功率密度对象质的影响及干涉测试研究”,南京理工大学博士学术论文;

2. Erkin Sidick, "Power spectral density specification and analysis of large optical surfaces," Proc. SPIE 7390, Modeling Aspects in Optical Metrology II, 73900L (17 June 2009); doi: 10.1117/12.823844;

3. Tom Pertermann, Herbert Gross… “Angular resolved power spectral density analysis for improving mirror manufacturing”, AppliedOptics, 2018, Vol. 57, No. 29;

格林威治天文台是如何得出每天的太阳水平和垂直直径数据的?

格林威治天文台从1836年起用子午环测量太阳前后两边缘过子午线的时刻及太阳中天时上边缘和下边缘的天顶jù,得出每天的太阳水平直径和垂直直径数据。水平直径测量主要使用计时器,1915年以后又加上超人差测微器,结果是从1890年以来的测量值míng显地不断下降,太阳半径约每百年缩小1弧秒;垂直方向的测量1851年以后使用艾里台长的新子午仪,其缩小趋势不如水平方向显著。他们认为仪器的测量误差对结果影响颇大,太阳半径的缩小比仪器的误差要小些。

数控等离子切割机有斜口是怎么回事?

  数控等离子切割机切割出来的工件切口一般dōu比较整齐,切割斜度大有以下几点原因造成的:  

1、割枪切割的时候没有拿正,也就是没有掌握好切割角度;  

2、切割出来的割缝和气压有关系,割嘴出的气压太小了割缝质量不好;  

3、割枪的割嘴用的太久没有更换也会影响割缝,割嘴用的久了以后前面的出气空会变形,也就是不怎么圆了,那也就影响到出气的气流,气流一歪,割缝也就歪了。  对如这类无法做到彻底解决,数控等离子切割机切割有斜度是正常的.一般来讲,普通的等离子斜口坡度在15度以内就是合格的,精细等离子或类激光等离子斜度在5度以内。  如果对数控等离子切割机切割效果不满意,可以适当降低等离子喷嘴与钢板的距离,最低2-3MM为宜.14MM钢板,输入气压在1.0MPA,电流160A.如果对切割质量要求很高,tàn钢板建议还是用数控火焰切割机。

以上就是关于圆弧误差过大,太阳弧误差的知识,后面我们会继续为大家整理关于太阳弧 误差的知识,希望能够帮助到大家!

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